蒸镀设备Vacuum Deposition Equipment

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适用于装饰膜等的标准型号设备

可镀各种金属膜
附带2台基板台车，可在镀膜过程中交换基板，镀膜材料
采用2对蒸发源，可镀两种不同的技术材料，通过选配自公转机构和离子电镀机构可对形状复杂基板进行良好附着性的镀膜

用途・应用例

各种装饰膜，不连续膜，电磁波防止膜

特长

  1. 1. 内部夹具系统
    自公转夹具的数量：6轴或8轴
    夹具空间：6轴φ380mm×H 1,200 mm，8轴φ300mm×H 1,200 mm
  2. 2. 蒸发源系统
    电阻加热系统：2点切换型
  3. 3. 离子电镀机构提高了覆盖性（选购项）

规格

排气泵 DP＋RP＋MBP＋迈斯纳陷阱
安装尺寸 W3,500mm×D5,200mm×H2,700mm
重量 7,300kg
电源容量 AC200V(3φ/1φ)／90kVA(300A)