连续式高真空退火炉设备
SAF-X1201
对水晶谐振器的热处理可实现连续式处理的高真空退火炉
用途・应用例
去除水晶谐振器等产品在加工时产生的内部应力。
SMD封装内的废气排放
稳定电极膜。
特长
- 1. 本设备主要作用是去除晶体振荡器在加工过程中产生的内部应力偏差，使其电极膜更加稳定化的连续式真空设备。
- 2. 由预备室，处理室，冷却室3腔体构成，托盘从搬入，退火到冷却均为全自动运行。此外可与LD/ULD设备进行连接，提高生产力，达到低成本。
- 3. W220mm×D140mm托盘下实现了约440秒（约＝7分20秒）/每盘的节拍时间。
- 4. 全自动退火工程可实现提高成品率。