高真空退火炉设备
SAF-52T-Ⅱ
高效率/节省安装空间
用途・应用例
去除水晶谐振器等产品在加工时产生的内部应力。
稳定电极膜。
特长
- 1. 本设备的主要作用是去除水晶谐振器在加工过程中产生的内部应力偏差，使其电极膜更加稳定化。
- 2. 本设备配有W460mm×D350mm×H35mm的加热架左右各10层，最多可以摆放170×134mm尺寸的标准托盘60片。
- 3. 本设备具有2个可以独立工作的退火室，提高了生产效率，缩短了生产周期。
规格
| 排气泵 | RP＋TMP |
|---|---|
| 安装尺寸 | W1,700mm×D900mm×H1,700mm |
| 重量 | 1,200kg |
| 电源容量 | AC200V／三相／22.4KVA (64.7A) AC200V／three-phase／22.4 kVA (64.7A) |