光学膜厚控制系统
Lafio/APEX系列
实现稳定且高精度的光学膜厚控制
真空镀膜设备高精度光学膜厚控制。
此外，通过与条件设定计算机以及序列控制系统的组合运用，可以实现完全自动化。
特長
- 1. 最大99层，通过计算机高速计算控制技术，以0.1％以下的精度检测光反射（透射）率的极值（峰值）。
- 2. 使用参考控制法来提高光量稳定性
- 3. 自动切换可见光区域和近红外区域。无需进行受光器的切换操作。
- 4. 在光接收器一侧安装衍射光栅的设计,使其结构变得不易受外来光的影响。
- 5. 即使光强度变化只有1％左右，也可以精确地检测出峰值。
- 6. 通过采用预测计算方法,可以在S / N较劣时也可实现稳定运行。
光学监控一览
| 型号 | 可测波长[nm] | 光源 | 受光元件 | 光学系统 | 光度法 |
|---|---|---|---|---|---|
| APEX | 380～2,000 | 卤素灯 | Si-PD、PbS | 镜盒式 | 反射/透过 |
| Lafio Plus | 350～1,100 | Si-PD | 光纤式 | 反射 | |
| 直接监控 | 400～900 | CCD(Si) | 透过 |