霍尔加速型离子源/等离子体中和器
ISH-030/PBN-80
紧凑型离子源，可实现高输出的离子照射
用途・应用例
光学薄膜离子辅助
特长
- 1. 即使搭载在大型设备上也能产生足够大的电流
- 2. 设计紧凑性，设置性优异。
- 3. 无点火不良，缩短了启动时间
- 4. 不使用栅网，可降低运行成本并缩短维护时间
参考数据
规格
| 尺寸 | Φ115mm×H105mm |
|---|---|
| 阳极电流mA | 1,000～5,000mA *中功率：400V以上，最高4,000mA *高功率：500V以上，最高3,000mA |
| 阳极电压v | 中功率：200～500V 高功率：300～600V |
| 输出电流mA | MAX：6,500mA |
| 相关气体 | ISH：Ar, O2 ／ PBN：Ar |