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IGF-201
IGF-001

最适用于蚀刻各个器件

通过小型离子源向元器件发射各种离子束，与挡板组合使用，可以进行单独的蚀刻。

用途・应用例

压电元器件（晶体振荡器，SAW滤波器等）的单独蚀刻、晶圆平面化等

特长

  1. IGF-001 : 光束直径：约φ5㎜
    IGF-201：光束幅宽：约5㎜×L100㎜