水晶膜厚仪
高精度膜厚监测，可速率控制
该系统采用了本公司多年研究开发的石英器件制造设备的技术，利用网络分析仪来测量频率的方法，与传统测量方法相比，大幅度提高了精确度。
镀膜速率稳定性
- ・COÅT LEADER和其他公司各自进行1片水晶的镀膜。
- ・在速率稳定性上，与其他公司相比，振动子寿命更长并且更加稳定。
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是（株）昭和真空的注册商标。
该系统采用了本公司多年研究开发的石英器件制造设备的技术，利用网络分析仪来测量频率的方法，与传统测量方法相比，大幅度提高了精确度。
是（株）昭和真空的注册商标。