1953年 |
前身作为小俣真空设备研究所设立。 |
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1955年 |
开始生产油回转真空泵“MP-250”。
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1958年 |
昭和真空机械株式会社设立。 |
1960年 |
第1台水晶谐振器用真空蒸镀设备完成。 |
1961年 |
第1台光学用真空蒸镀设备完成。 |
1967年 |
油回转泵“MP-250”在神奈川县工业展上获得优秀奖。 |
1971年 |
总公司/工厂搬迁至相模原市大野台。
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1974年 |
水晶谐振器用频率微调全自动真空蒸镀设备“SC-6SA”完成。
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1975年 |
独立营业部门,设立株式会社昭和真空。
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1977年 |
独立机械加工部门,设立昭和精工株式会社。 |
1978年 |
开发用于调节石英表频率的全自动真空镀膜装备。 |
1979年 |
将光学用多层膜真空蒸镀设备“SGC-22SA”机型全面更新。
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1983年 |
在相模原市上沟新建昭和真空上沟工厂(740m²)。
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1984年 |
MCF晶体频率微调用真空蒸镀设备“SFC-71M”获得第1届神奈川工业技术大奖。 |
1986年 |
获得神奈川县标准工厂认证。
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1991年 |
被指定为中小企业厅示范工厂。 |
1994年 |
微型连续式高频高精度水晶微调设备“SRC-01”获得第11届神奈川工业技术开发大奖鼓励奖。 |
1995年 |
晶体用基底电极膜附着用溅射镀膜设备“SPH-2500”完成。 |
1996年 |
MCF用连续式水晶微调设备“SRM-2111C”完成。 |
1997年 |
公司名由株式会社昭和眞空变更为株式会社昭和真空。 |
2000年 |
股票在JASDAQ(场外交易市场)上市。
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2001年 |
全部事业所获得“ISO9001:2000”认证。 |
2002年 |
在中国上海市设立昭和真空机械(上海)有限公司。 |
2003年 |
在中国上海市设立昭和真空机械贸易(上海)有限公司。 |
2004年 |
建造相模原工厂。 |
2005年 |
总公司搬迁至相模原工厂内。
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2006年 |
被经济产业省评选为“支撑起日本明天的活力制造型中小企业300强”之一。
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2008年 |
在东京迪士尼乐园举办50周年庆典。 |
2010年 |
将株式会社SPT吸收合并。 |
2011年 |
晶体元件用频率微调设备获得“九都县市闪亮产业技术”。
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2012年 |
出售大野台第二工厂/营业所。营业部门搬迁至总公司/相模原工厂。 |
2014年 |
出售富士见物业(土地和建筑物)。 |
2015年 |
开设北陆服务中心。 |
2016年 |
开发光学薄膜用ALD设备“Genesis-AR Series”。 |
2018年 |
出售大野台零部件中心。 |
2020年 |
在相模原工厂新建研发楼(1,486m²)。
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2020年 |
被经济产业省评选为“全球利基市场头部企业百强”。
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2022年 |
由于东京证券交易所市场分类调整,从JASDAQ(标准)转至标准市场。 |