概要

在树脂基板上镀制金属膜和保护膜。

特 长

1. 全自动
       对注塑成型后的基板进行全自动真空镀膜（溅射及聚合）。
2. 单批次工艺时间：80秒
       （Ａｌ：100nm＋SiOx：20nm）
3. 较高的薄膜附着力
       无打底膜层也可以获得较高的薄膜附着力。

适用产品

1. 汽车前灯的反射灯杯
2. 反射镜
3. 金属装饰膜

主要规格

最大装载尺寸

W180 × L340 × D150 mm

适用基片材质

PC, PET, PP, PE 等

溅射数率

10 nm/sec

聚合数率

1 nm/sec

抽气速度

30sec 可到达 0.1Pa

真空系统

RP + TMP

处理周期

自基片投放、溅镀、聚合至取出约在80sec以内完成。

反 射 率

85%以上、KOH 1% 10min

真 空 室

溅镀室+聚合室　2室结构

溅 镀 室

高使用率溅射阴极（靶材尺寸 440 × 240 mm)
30kW DC电源

聚 合 室

辉光放电式聚合电极 × 1, 750W RF电源

溅射材料

Al 等

聚合气体

HMDSO (SiOx用) 等