清除浮渣・表面改质・灰化处理
同时处理2枚φ6英寸晶圆的高生产节拍型号
该设备可对针对φ4〜φ6英寸晶片进行清除浮渣・表面改质・灰化处理。附带了自动搬送装置防止了晶片的碎裂以及减少搬运所需的作业时间。在工序室中可同时处理2片晶片，实现高产能性。 设备本体尺寸为W1,400㎜×D2,000㎜，为小型紧凑化的设计。
(1)由搭载了搬运机械臂的搬送区域以及灰化室构成
(2)真空槽材料为实施了脱脂处理的A5052
| 排气泵 | 干泵 1式 |
| 外形尺寸 | 设备本体：W1340mm×D1945mm×H1870mm |
| 设备重量 | 1,000Kg |
| 电力 | 200V 3φ 50/60Hz 14.3KVA |
※设备规格/外观可改良或变更。
※本产品有外汇以及战略物资根据国际贸易管理方法的规定相当出口限制物品的情况。
因而在把相符合品拿到日本国外的时候拿到日本国政府的出口许可申请需要的手续。
