• 蒸镀金属薄膜的设备的小巧机型

概要

1. 该设备是使用电阻加热蒸发源蒸发金属材料，从而在基板上形成薄膜的真空镀膜设备。
2. 该设备是批量型，配备有自转夹具，边缘及棱角亦可得到良好镀膜效果。
3. 膜厚由晶体振荡型膜厚计控制。
4. 操作控制系统是全自动的。
5. 根据应用的不同，除了自转型外，还可以支持伞架型和自公转型。
6. 可以低成本用合理的价格进行研究开发和小批量生产。
7. 可根据客户需要定制为负载锁定型。

特长

1. 全自动系统，操作简单
2. 非常适合研究开发和小批量生产
3. 真空室为前门式，方便维护保养设备。
4. 集成操作控制系统，紧凑型设计。

选项

• 旋转伞架型夹具／自公转型夹具／加热机构／支持负载锁定型

用途/应用例

• 金属装饰件／用于底涂层和面漆等涂料的评估

设备构成