组 件
高使用效率的阴极
- 实现超过40％的使用效率！ -
概要
我们改良了传统的5×7英寸阴极，开发了一种使用效率达到40％以上的阴极。
通过延长靶材使用寿命，使维护周期变得更长，同时减少了贵金属靶材的回收损耗。
特长 / 选项
- 使用效率最高可达44％。
- 对现有的5×7英寸阴极也可以进行改造。
- 也有5×10英寸规格的阴极。
※使用效率不在保证范围内。
用途 / 应用例
最适用于贵金属靶材和厚膜的镀膜
※设备规格/外观可改良或变更。
※本产品有外汇以及战略物资根据国际贸易管理方法的规定相当出口限制物品的情况。
因而在把相符合品拿到日本国外的时候拿到日本国政府的出口许可申请需要的手续。
