エッチング/アッシング/
トリミング装置Etching /Ashing /Trimming Equipment

枚葉式RIE装置スタンダードモデル

バッチ式RIE装置スタンダードモデル

φ6インチウエハ2枚同時処理による高スループット

イオンビームによる基材の平坦化・平滑化