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周波数調整装置熱処理装置膜厚制御装置航空宇宙
産業用装置

周波数調整装置 Frequency Adjustment Equipment

ロードロック式周波数調整装置

SFE-B03-Ⅱ

周波数調整装置のグローバルスタンダード

インライン式周波数調整装置

SFE-X2012

世界最高レベルのタクトタイムを実現

熱処理装置 Annealing Equipment

高真空アニール装置

SAF-52T-Ⅱ

生産の効率化／省スペース

インライン式高真空アニール装置

SAF-X1201

インラインで水晶振動子の熱処理が可能な高真空アニール装置

膜厚制御装置 Film Thickness Control System

光学膜厚制御システム

Lafio/APEX Series

安定かつ高精度な光学膜厚制御を実現

ワイヤレス温度モニター

成膜中の基板温度をリアルタイムに測定

水晶式膜厚計/膜厚コントローラ

COÅT LEADER

高精度な膜厚監視、レート制御が可能

航空宇宙産業用装置 Vacuum Equipment For Aerospace Industry

航空宇宙産業用装置

SNC Series

地上で宇宙の環境を再現