蒸着装置 Vacuum Deposition Equipment
真空蒸着装置
Mega-Sapio1700 (SGC-MS1700i)
生産量UPを追及して1台で2台分の生産性を実現
真空蒸着装置
Sapio Series
（SGC-S900/1300/1550/1700）
バッチ間成膜再現性を追求した高性能モデル
真空蒸着装置
SEC-22C
金属蒸着のスタンダードモデル
小型真空蒸着装置
SEC-06D / SEC-08C
金属薄膜用蒸着装置のコンパクトモデル
AuSn蒸着装置
SEC-S900C
Au/Snの2元同時蒸着により厚膜を低温で成膜可能
耐プラズマ膜
用蒸着装置
SEC-S1300i
耐腐食性の高いY2O3厚膜を成膜し、シールド膜の形成が可能
バッチ式真空蒸着装置
SDC-1300F
加飾膜などに適したスタンダードモデル
イオンプレーティング装置 Ion Plating Equipment
スパッタリング装置 Sputtering Equipment
ロードロック式
スパッタリング装置
SPH-2500T-Ⅱ
二種類の膜を両面に成膜可能なスパッタリング装置
ロードロック式
通過型スパッタリング装置
SPH-2410-Ⅱ
二種類の膜を両面に成膜可能なスパッタリング装置
ロードロック式
カルーセル型スパッタリング装置
SPC-2507-Ⅱ
二種類の膜を片面ずつ成膜可能なスパッタリング装置
インライン式
スパッタリング装置
SPH-5000 Series
大型基板量産用スパッタリング装置
枚葉式スパッタリング装置
SPM Series
枚葉式の大型スパッタリング装置
カルーセル型
高速スパッタ重合装置
SPP-155TC
小ロット・短いサイクルタイムで回せるスパッタリング装置
射出成型機連動型
高速スパッタ・重合システム
SPP Series
樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能
