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光学装置
■ 低パーティクル仕様光学薄膜用蒸着装置 Sapioシリーズ
概要
光学薄膜用蒸着装置における歩留まり低下の原因(パーティクル、コンタミネーション)は、プロセスだけでは解決できません。
そこで、低パーティクル仕様では、パーティクルの原因を徹底的に調査・対策し、プロセスはもちろんハード面から対策した仕様です。
パーティクルの原因を徹底的に調査・対策し、プロセスはもちろんのこと装置構成から見直して対策を施しています。歩留まり改善にお困りの際は、是非Sapioをご検討ください。
特 徴
透明度が高い
スポット光源でも
パーティクルが減少
特殊な計測器での観測でも
明らかにコンタミが減少
パーティクルの数値化計測
においても50%以下に減少
詳細カタログはこちら
※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。
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