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光学装置
■ 真空蒸着装置 Sapioシリーズ（SGC-S900/1300/1550/1700）
バッチ間成膜再現性を追求した高性能モデル
概要
成膜再現性…新開発のファイバー式光学モニター、安定した温度制御が可能な円盤型80 点モニターガラスを採用。設計通りの特性が得られる高精度を実現。
膜質安定性…徹底した放出ガス対策により、槽内が汚れていても特性のみならず膜質の安定化を達成。
低パーティクル…排気系の乱流対策，蒸発源近傍の防汚対策・電子銃のチューニングにより低パーティクル化を実現。
高出力イオンソース…Sapio 専用設計の高出力イオンソースを搭載、多層光学フィルターから樹脂基板への成膜まで幅広く対応。
特長・オプション等
高効率排気システム
高精度膜厚制御システム Wavenavigator、Lafio
高出力・大面積照射 RF イオンソース ISG シリーズ
低パーティクル仕様（オプション）
用途・応用例
光学多層膜フィルター（IR カットフィルター、バンドパスフィルターなど）
各種反射防止膜
増反射ミラー など
概略仕様
真空槽サイズ
φ900mm
φ1,300mm
φ1,550mm
ドームサイズ
φ800mm
φ1,150mm
φ1,400mm
サイズ
W4,000mm
D5,800mm
H2,600mm
W4,500mm
D6,000mm
H2,700mm
W4,900mm
D6,500mm
H3,200mm
重量
4,700kg
6,600kg
9,300kg
排気系
22inchDP×1
マイスナートラップ
22inchDP×2
マイスナートラップ
26inchDP×2
マイスナートラップ
基板加熱
ハロゲン or シースヒーター ~350℃
電子銃
180° or 270°偏向型
イオンソース
グリッド式RFイオンソース φ130、180、230
光学式膜厚計
Lafio Plus その他
水晶式膜厚計
シングル or 6連センサヘッド ＋ COÅT LEADER
その他
CP仕様、TMP仕様、反転パレット機構、自公転治具、抵抗加熱、ダイレクトモニター、ECO22 など
※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。
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■ 真空蒸着装置 Sapioシリーズ（SGC-S900/1300/1550/1700）
