1. |
装置概要 |
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(1) | キャリアーストッカー |
(2) | 真空槽ロードロック室(ドアバルブ付) |
(3) | 真空槽スパッタ室(仕切バルブ付) |
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2. |
搬送機構 |
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(1) | キャリア搬送機構 |
(2) | キャリア入換機構 |
(3) | キャリア成膜用往復機構 |
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3. |
カソード系 |
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(1) | マグネトロンカソード |
(2) | DC電源: Φ3インチ 3KW |
(3) | カソード切替器 |
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4. |
基板ホルダー |
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350W×127H×18t(SUS-304製) |
5. |
排気系 |
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(1) | 6"CRYOポンプ(ロードロック室) |
(2) | 8"CRYOポンプ(スパッタ室) |
(3) | ロータリーポンプ |
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6. |
マスフローコントローラー |
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100SCCM(Ar) |
7. |
外形寸法 |
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(1) | 本体 | 1100W×2850D×1850H |
(2) | 電源 | 640W× 700D×1850H |
(3) | パソコンラック | 600W× 500D× 950H |
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8. |
ユーティリティー |
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(1) | 電力 | 200V 3φ 50Hz 約26KVA |
(2) | 冷却水 | 0.2MPa(20~25℃)約38L/min |
(3) | 圧空 | 0.5MPa |
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