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最大99層、コンピュータの高速演算で光反射(透過)率の極値(ピーク)を0.1%以下の精度で検出します。 |
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回折格子(グレーティング)を採用。380～2000nm間で1nmピッチで波長設定が出来ます。 |
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可視域、近赤外域が自動切替。従来のような受光器の交換作業がなくなりました。 |
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回折格子を受光器側に装備した結果、外来光からの影響を受けにくくなりました。 |
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1%程度の光量変化でも、精度良く、ピーク検出出来るようになりました。 |
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DAコンバータ型ロックインアンプの採用により光量データのふらつき及びドリフトが減少しました。 |
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予測演算方式の採用により、S/N比劣時の安定動作が可能です。 |
■ 光学膜厚制御システム
ウェーブナビゲーター SOCS-1α
