真空蒸着装置 SGC-S1700（真空装置）｜株式会社昭和真空

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■ 真空蒸着装置　SGC-S1700

樹脂基板への成膜に最適！
大量生産を高次元で実現

概　要

Sapioシリーズのテクノロジーを盛り込みつつ、コストパフォーマンスに磨きをかけた量産対応装置です。
本装置は、樹脂基板への成膜に最適です。
また、RFイオンソース、光学モニター、反転パレットなど多彩な仕様選択が可能となっております。

特長・オプション等

1.	高効率排気システムの採用により、φ1,300蒸着装置と比較し成膜処理時間は＋10％程度
2.	1バッチあたり基板収納数はφ1,300蒸着装置の2倍以上
3.	設置面積の省スペース化、全高を抑えたコンパクト設計

用途・応用例

樹脂基板への反射防止膜形成

光学ミラー

概略仕様

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。