株式会社昭和真空(真空装置)
会社情報株主・投資家の皆様へ製品情報(真空装置)保守サービス採用情報ニュースリリースお問い合わせENGLISHCHINESE
製品情報(真空装置)
トップ > 製品情報トップ > 光学装置 >DBR装置

光学装置

真空蒸着装置 ■ Sapio-DBR (SGC-S1300i/1550i/1700i)
Sapio-DBR(SGC-S1300i)  
LED用光学多層DBR膜の形成に最適!
概要(SGC-S1700i)
  1. 優れた量産性能
    基板搭載数
    φ6インチウェハー 約70枚/バッチ
    φ4インチウェハー 約170枚/バッチ
    タクトタイム
    3時間/バッチ以内(31層構成)
    必要設置エリア
    W5,000㎜×D7,000㎜×H3,100㎜
  2. 優れたバッチ間再現性 連続バッチ保証にも対応
  3. 膜質の調整が可能 Chippingによる膜の損傷を抑制すべく条件補正の技術協力が可能
特長・オプション等
  1. 高効率排気システム
  2. 高精度膜厚制御システム Wavenavigator、Lafio
  3. 高出力・大面積照射 RFイオンソース ISGシリーズ
  4. 低パーティクル仕様(オプション)
用途・応用例
  • LEDのDBR(Distributed Bragg Reflector)膜形成
概略仕様(参考:SGC-S1700i)
処理方式 バッチ式
排気ポンプ 26インチDP×2+RP+MBP+マイスナートラップ
設置寸法 W5,000㎜×D7,000㎜×H3,100㎜
装置重量 9,300kg
電源容量 AC200V(3φ) / 約130kVA
真空槽サイズ φ1,700㎜
LEDデバイスの構成
LEDの反射膜として利用
DBRが選ばれる理由
Al膜、Al+増反射膜
  • 熱変形による応力により結晶欠陥が発生。製品の劣化に繋がる
  • Al反射膜では反射率増加に限界がある
DBR(誘電体多層膜ミラー)
  • 熱変形による劣化が少ない
  • アルミ反射膜では得られない高い反射率の実現
DBR分光特性例

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。


ページトップへ


Copyright(c) SHOWA SHINKU CO.,LTD.All rights reserved.プライバシーポリシー情報セキュリティポリシー | サイトマップ |