ワイヤレス温度モニター
成膜中の基板温度をリアルタイムに測定
ワイヤレス温度モニターは子機と親機で構成され、子機で測定した温度データを親機で受信しPCにデータを送信します。
成膜中の基板温度を加熱機構の温調制御に使用することも可能です。
特長
- 1. ワイヤレスでの温度モニターが可能
- 2. 小型モジュール（子機）で設置が容易
- 3. 基板温度で温調が可能
- 4. 子機×3 ／ 親機
ワイヤレス温度モニターは子機と親機で構成され、子機で測定した温度データを親機で受信しPCにデータを送信します。
成膜中の基板温度を加熱機構の温調制御に使用することも可能です。