射出成型機連動型高速スパッタ・重合システム
SPP Series
樹脂基板への金属膜、保護膜が
全自動で成膜可能
射出成型機と本装置を連動させて成形→金属膜(Al)→保護膜(SiOx)を簡単に全自動成膜します。射出成型機と同程度のサイクルタイムを実現することで、成型から成膜の工程を滞りなく進める事が可能です。
用途・応用例
自動車ヘッドランプリフレクター、ミラー、金属装飾膜
特長
- 1. 並行処理：独立した2室の真空槽で構成されているため、異なるプロセスを同時進行で処理可能
- 2. サイクルタイム：約2分（Al：100nm+SiOx：20nm）
- 3. 全自動化：射出成型機及び搬送機と連動可能
仕様
| 排気ポンプ | スパッタ室：RP+MBP+TMP 重合室：RP+MBP (TMPオプション) |
|---|---|
| 設置寸法 | W4,000mm×D4,500mm×H2,400mm |
| 重量 | 4,600kg |
| 電源容量 | AC200～220V 約85kVA |
