カルーセル型高速スパッタ重合装置
SPP-155TC
小ロット・短いサイクルタイムで回せる
スパッタリング装置
本装置は大型の製品にスパッタ・重合成膜が可能にもかかわらずハイサイクル稼働を実現したバッチ式の装置です。製品の品質や歩留まりを上げたい生産現場に貢献します。
用途・応用例
装飾膜のコーティング
製品例
自動車内装部品、自動車ヘッドランプリフレクター
特長
- 1. 短いサイクルタイム(1サイクル/約4分)
120kW電源の搭載によるハイレートと、ポンプ3式の高速排気により実現 - 2. 大型基板の対応
基板設置エリアがΦ500mm×H1,200mmと広いため大型基板に成膜可能 - 3. 自動化で作業効率UP
真空槽扉の開閉及びスパッタカソードの開閉の自動化対応可能
仕様
| 排気ポンプ | 主排気：TMP×2+CRYO×1 粗引き：RP×1+MBP×1 |
|---|---|
| 設置寸法 | W4,000mm×D4,000mm×H2,700mm |
| 重量 | 6,200kg |
| 電源容量 | AC200～220V／約160kVA |
