エッチング装置Etching Equipment

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バッチ式RIE装置スタンダードモデル

処理能力の大きなバッチ式RIE（反応性イオンエッチング）装置となっております。
φ4インチウエハは24枚処理同時処理、φ6インチは11枚同時処理が可能です。
大気搬送室はカセット対応で、ダブルアームロボットを採用し効率の良い搬送が可能です。

用途・応用例

各種ウエハ電子部品へのRIE処理

特長

  1. 1. RIEとして大量一括処理が可能
  2. 2. ダブルアームロボット搬送によりカセットからウエハを効率的な入れ替えが可能
  3. 3. エッチング分布：±5%以内、サイクルタイム：20min/バッチ

仕様

排気ポンプ DRP＋MBP＋TMP
設置寸法 W2,800mm×D2,400mm×H2,025mm
重量 2,400kg
電源容量 AC200V(3φ)／25kVA(73A)