エッチング装置Etching Equipment

枚葉式RIE装置スタンダードモデル

RIE室3室を搭載した枚葉式RIE（反応性イオンエッチング）装置です。カセット室を付属しており、カセットの入れ替えで連続運転が可能です。φ4インチ及びφ6インチウエハに対応しております。