プラズマクリーナー
SPE-2136A
φ６インチウエハ２枚同時処理による
高スループット
本装置はφ4～φ6インチウエハに対しデスカム・表面改質・アッシング処理が可能です。また、自動搬送機構を付属しておりウエハ割れ防止や、ウエハ移載にかかる作業時間コストの削減に貢献します。さらに、プロセス室はウエハ2枚同時処理により高いスループットを実現しています。
装置本体サイズがW1,400mm×D2,000mmとコンパクトな設計となっています。
用途・応用例
デスカム・表面改質・アッシング処理
各種ウエハ電子部品のレジスト除去、後工程メッキ前の表面改質、有機汚染除去、樹脂材料の表面改質、SAWデバイスなどの極薄圧電ウエハ対応
特長
- 1. C to C
- 2. 高スループット
- 3. 分布：ウエハ内±10％以下（Si基板）
- 4. 2枚同時処理、低温処理
- 5. Arプラズマクリーニング（オプション）
- 6. イオナイザーによる静電対策（オプション）
仕様
| 排気ポンプ | DRP×1 |
|---|---|
| 設置寸法 | 本体：W1,340mm×D1,945mm×H1,870mm |
| 重量 | 1,100Kg |
| 電源容量 | AC200～220V(3φ)／50/60Hz／14.3kVA |