アーク放電型イオンプレーティング装置
SIA-400T
表面硬化膜形成用／少量生産機・実験機に最適
アーク放電型カソードを搭載したイオンプレーティング装置です。
TiN、TiAlN硬化膜の成膜が可能です。
用途・応用例
切削工具、自動車・機械部品、各種金型
特長
- 1. 切削工具等への表面硬化膜（TiN、TiAlN膜）の成膜が可能です。
- 2. 据付面積（操作盤・ポンプユニット・電源含）はW3,000mm×D2,500mm内の省スペースです。
- 3. タッチパネル操作による成膜レシピ制御が可能です。
- 4. 少量生産機・実験機として最適です。
- 5. 高融点金属（タングステンやモリブデン）の蒸発も可能です。
仕様
| 排気ポンプ | TMP＋RP |
|---|---|
| 設置寸法 | W2,800mm×D2,100mm×H2,000mm |
| 重量 | 1,400kg |
| 電源容量 | 本体：AC200V(3Φ)／約38.3kVA(110.5A) |