インライン式周波数調整装置
SFE-X2012
世界最高レベルのタクトタイムを実現
本装置は水晶デバイスの周波数調整を行う装置です。処理室と取出室を別にした3室インライン式の採用により、世界最高レベルのタクトタイムを実現しております。
又、SFE-B03で実績のある高精度・高安定・高再現性の搬送機構を採用し、従来インラインでは困難であった小型ワーク（1.2×1.0以下）の周波数調整も、安定して量産できます。
用途・応用例
対象製品｜水晶振動子／水晶発振器（3225、2520、2016、1612、1210、1008）、
音叉振動子（3215、2012、1610、1210）
特長
- 1. 3室インライン式の採用
アイドルタイムの少ない効率的な動作が可能 - 2. 多源同時処理
リニアイオンソース（ビーム幅：100mm）を2基搭載
1台あたり最大24個、計48個同時処理が可能 - 3. 高性能の搬送機構による微小ワーク（1.2×1.0以下）の安定生産
- 4. 三生電子株式会社のインラインシステムと連結可能（オプション）
- 5. 小型ワークコンタクト調整システム「SEARCHROID®」（オプション）
※SEARCHROID®は㈱昭和真空の登録商標です｡
性能
・タクトタイム：0.3sec/pc以下 ※18MHz以上のワーク、1列24個以上の場合
・調整精度：±1.5ppm以下
・処理数：最大24列(p4.0)×32列
仕様
| 排気ポンプ | RP＋TMP＋MBP |
|---|---|
| 設置寸法 | W3,000mm×D2,100mm×H2,000mm |
| 重量 | 2,150kg |
| 電源容量 | AC200V(3φ)／18kVA(54A) |