小型真空蒸着装置
SEC-06D / SEC-08C
金属薄膜用蒸着装置のコンパクトモデル
抵抗加熱式蒸発源もしくは電子ビーム蒸発源による金属材料の成膜が可能です。
研究開発・小ロット生産に適しています。
用途・応用例
各種電子部品の電極膜形成
金属加飾部品
アンダーコート・トップコートなどの塗料評価用
特長
- 1. 真空槽はメンテナンス性が高いフロントドアータイプ
- 2. 操作制御系一体型によるコンパクトな設計
- 3. 水晶発振式膜厚計による膜厚制御
- 4. 自公転治具採用による良好な付き回り
オプション
公転ドーム式治具、加熱機構、電子ビーム蒸発源
仕様
| 排気ポンプ | SEC-06D：DP＋RP SEC-08C：DP＋CRYO |
|---|---|
| 設置寸法 | W1,240mm×D1,300mm×H2,000mm |
| 重量 | 500kg |
| 電源容量 | AC200V(3φ)／9.8kVA(28A) |