画像認識システム
微小製品の自動認識が可能
画像認識により、微小製品の位置検出、基板上の微細異物、ウエハ、オリフラ及びノッチ検出が可能
用途・応用例
微小製品のコンタクト位置あわせ
トレー内の製品位置ずれ検出
ウエハ内の異物検出、オリフラ／ノッチ検出
※
は㈱昭和真空の登録商標です｡
特長
- 1. 撮像対象と基準点とのズレ量を検出し、Ｘ、Ｙステージを制御してズレ量を補正する。
- 2. 撮像対象と標本画像を比較して異常を検知する。