蒸着装置Vacuum Deposition Equipment

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加飾膜などに適したスタンダードモデル

各種金属膜の成膜が可能です。
基板台車を2台付属しており、成膜中に基板交換、蒸着材料交換が可能です。
2対の蒸発源を採用し、異なる2種類の金属材料の成膜が可能です。
自公転機構とイオンプレーティング機構（オプション）により複雑な形状の基板への付き回りの良い成膜が可能です。

用途・応用例

各種加飾膜、不連続膜、電磁波防止膜

特長

  1. 1. 内部治具系
    自公転治具数：6軸or8軸
    冶具スペース：6軸φ380mm×H1,200mm、8軸φ300mm×H1,200mm
  2. 2. 蒸発源系
    抵抗加熱機構：2点切替式
  3. 3. イオンプレーティング機構によるカバレッジ性向上（オプション）

仕様

排気ポンプ DP＋RP＋MBP＋マイスナートラップ
設置寸法 W3,500mm×D5,200mm×H2,700mm
重量 7,300kg
電源容量 AC200V(3φ/1φ)／90kVA(300A)