インライン式高真空アニール装置
SAF-X1201
インラインで水晶振動子の熱処理が可能な
高真空アニール装置
用途・応用例
水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去
SMDパッケージに内在するアウトガスの放出
電極膜の安定化
特長
- 1. 本装置は、主に水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去、電極膜の安定化のために熱処理を行うインライン式真空熱処理装置です。
- 2. 仕込室、処理室、冷却室の3室からなり、トレイ仕込後、アニールから冷却まで全自動で行います。また、LD/ULDを接続することでライン化が可能になり、生産性の向上と省力化に貢献します。
- 3. W220mm×D140mmトレイで約440秒(＝約7分20秒)/枚のタクトタイムを実現しました。
- 4. アニール工程のフルオートメーション化により、歩留向上に貢献します。
仕様
| 排気ポンプ | RP+TMP+MBP |
|---|---|
| 設置寸法 | W3,210mm×D1,500mm×H2,282mm |
| 重量 | 約4,000kg |
| 電源容量 | AC200V／24 kVA(69A) |