高真空アニール装置
SAF-52T-Ⅱ
生産の効率化/省スペース
用途・応用例
水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去
電極膜の安定化
特長
- 1. 本装置は、主に水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去、電極膜の安定化のための熱処理を行う装置です。
- 2. W460mm×D350mm×H35mmの加熱棚が左右計10段、170mm×134mmの標準トレーを最大60枚収納可能です。
- 3. 独立して稼動可能な処理室を2室有しており、生産の効率化、サイクルタイムの短縮が図れます。
仕様
排気ポンプ | RP+TMP |
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設置寸法 | W1,700mm×D900mm×H1,700mm |
重量 | 1,200kg |
電源容量 | AC200V/三相/22.4KVA (64.7A) AC200V/three-phase/22.4 kVA (64.7A) |