熱処理装置Annealing Equipment

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生産の効率化/省スペース

用途・応用例

水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去
電極膜の安定化

特長

  1. 1. 本装置は、主に水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去、電極膜の安定化のための熱処理を行う装置です。
  2. 2. W460mm×D350mm×H35mmの加熱棚が左右計10段、170mm×134mmの標準トレーを最大60枚収納可能です。
  3. 3. 独立して稼動可能な処理室を2室有しており、生産の効率化、サイクルタイムの短縮が図れます。

仕様

排気ポンプ RP+TMP
設置寸法 W1,700mm×D900mm×H1,700mm
重量 1,200kg
電源容量 AC200V/三相/22.4KVA (64.7A)
AC200V/three-phase/22.4 kVA (64.7A)
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