粉体スパッタ装置
OCTURE
粉末の全周にコーティングが可能
特長
- 1. 全面成膜を可能にする独自の振動機構
- 2. 2室構造で絶縁膜・金属膜の成膜に対応
- 3. 高効率/均一な成膜品質
用途・応用例
| 分野 | 項目 | 用途 |
|---|---|---|
| エネルギー 電子材料 |
全固体電池 | 正極材及び負極材 | 磁性材料 | 圧粉コア及び電子部品の磁性材パッケージ |
| 自動車 化学 その他 |
金属材料 | 粉末冶金 |
| その他 | 触媒、導電性ペースト、3Dプリント 等 |
