真空蒸着装置
Mega-Sapio 1700
（SGC-MS1700i）
生産量UPを追及して1台で2台分の生産性を実現
従来のSapio1700から「排気工程の短縮」、「成膜工程の短縮」、「ベント工程の短縮」、「装置の安定稼働」、これらの4つを実現しました。制御系にはワイヤレスモニターを採用し高精度なプロセスコントロールを行えます。設置面積は従来のSapio1700と変わらず、生産量2倍の量産機です。
用途・応用例
樹脂基板への反射防止膜形成
製品例
スマートフォン向けカメラレンズ
特長
- 1. 生産量2倍（生産タクト1/2、フットプリント従来と同等）
- 2. コストメリット（レンズ単価あたりの生産コスト削減、消費電力削減）
- 3. 従来装置から改造可能（従来Sapio1700のMS（Mega-Sapio）化も可能）
性能
排気工程
・ハイタクト仕様
排気、加熱系にて新機構を採用
成膜工程
・ハイレート蒸着仕様
ワイヤレスモニター
新型イオンソースを採用
ベント工程
・新型ベント機構を採用
装置の安定稼働
・稼働監視システムEPIoT®を採用
| 性能比較 ※Sapio1700基準 | ||
|---|---|---|
| 対比項目 | Sapio 1700 | Mega-Sapio 1700 |
| ①Lens積載量 | 1 | 1 |
| ➁生産タクト | 1 | 0.48 |
| ③生産量※①/➁ | 1 | 2.08 |
| ④面積生産性 ※37㎡ | 1 | 2.08 |
| ⑤成膜再現性 | ◎ | ◎ |
| ⑥消費電力 ※生産量当たり |
1 (42kW×1.5h= 64.7kW) |
0.62 (55kW×0.7h= 39.6kW) |
樹脂レンズフル搭載で生産タクト約53%短縮
※特定条件の参考データとなりますので保証値ではありません。
レイアウトイメージ
| 据付面積 | W (mm) | D (mm) | H (mm) | Weight (kg) |
|---|---|---|---|---|
| 装置本体 | 2,670 | 3,200 | 3,020 | 6,700 |
| 操作盤 | 625 | 2,160 | 2,385 | 650 |
| 電子銃電源 | 570 | 760 | 1,545 | 370 |
| ポンプユニット | 900 | 1,491 | 1,298 | 1,200 |
| マイスナートラップ 冷凍機 | 780 | 710 | 1,710 | 400 |
仕様
| 排気ポンプ | 26 inch DP×2，RP, MBP, デュアルマイスナートラップ |
|---|---|
| 電源容量 | AC200～220V／約134.3kVA |
| 真空槽 | Φ1,700mm |
| 所要水量 | 約8.16m3/Hr |
| 所要圧空 | 0.5～0.7MPa |