光学膜厚制御システム
Lafio / APEX Series
安定かつ高精度な光学膜厚制御を実現
本システムは、真空蒸着装置との組み合わせにより、光学膜厚を高精度で制御します。
更に、条件設定コンピュータ、シーケンスとの組み合わせにより、全自動化を図ることが可能です。
特長
- 1. 最大99層、コンピュータの高速演算で光反射（透過）率の極値（ピーク）を0.1%以下の精度で検出。
- 2. リファレンス制御による光量安定性向上
- 3. 可視域、近赤外域が自動切替。従来のような受光器の交換作業が不要
- 4. 回折格子を受光器側に装備した結果、外来光からの影響を受けにくい構造
- 5. 1%程度の光量変化でも、精度良くピーク検出が可能
- 6. 予測演算方式の採用により、S/N比劣時の安定動作が可能
光学モニターラインナップ
| 型 式 | 測光波長[nm] | 光 源 | 受光素子 | 光学系 | 測光方式 |
|---|---|---|---|---|---|
| APEX | 380～2,000 | ハロゲン ランプ |
Si-PD、PbS | ミラーボックス式 | 反射/透過 |
| Lafio Plus | 350～1,100 | Si-PD | 光ファイバ式 | 反射 | |
| ダイレクト モニタ |
400～900 | CCD(Si) | 透過 |