ホール加速型イオンソース/
プラズマブリッジニュートラライザー
ISH-030/PBN-80
コンパクトなイオンソースでありながら
高出力なイオン照射を実現
用途・応用例
光学薄膜のイオンアシスト成膜
特長
- 1. 大型装置に搭載しても十分な大電流タイプ
- 2. コンパクトな為、設置性が抜群
- 3. 着火不良が無く、起動時間も短縮
- 4. グリッドレス化によりランニングコストを削減、メンテナンス時間も短縮
参考データ
仕様
| 寸法 | Φ115mm×H105mm |
|---|---|
| アノード電流 [mA] |
1,000～5,000mA ※Middle Power ：400V以上は、4,000mAまで ※High Power ：500V以上は、3,000mAまで |
| アノード電圧[V] | Middle Power：200～500V High Power：300～600V |
| エミッション電流[mA] | MAX：6,500mA |
| ガス関連 | ISH：Ar, O2 ／ PBN：Ar |