水晶式膜厚計/膜厚コントローラ
高精度な膜厚監視、レート制御が可能
本システムは、当社が長年培ってきた水晶デバイス製造装置の技術を生かし、ネットワークアナライザによる周波数測定方式を採用することで、従来の測定方式と比べ、大幅に精度が向上しております。
特長
- 1. 新方式の測定法
- 2. 膜厚制御精度が向上
- 3. 成膜レート安定性が向上
- 4. 水晶振動子の長寿命化を実現
成膜レート安定性
- ・COÅT LEADERと他社製膜厚計それぞれで水晶1pcsに成膜
- ・レート安定性について、他社製より振動子を長く安定して使用できることを確認
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は㈱昭和真空の登録商標です｡