高使用効率カソード
40%以上の使用効率を実現!
従来の5×7インチカソードを改良し、40%以上の使用効率を持つカソードを開発しました。
ターゲットライフ延長によりメンテナンスサイクルが長くなり、貴金属ターゲットの回収ロス削減にも効果があります。
用途・応用例
貴金属ターゲット及び厚膜の成膜に最適
特長
- 1. 最大44%の使用効率を実現しました。
- 2. 既存の5×7インチカソードの改造も可能です。
- 3. 5×10インチカソード用もラインナップしています。
※使用効率については保証外になります。