よくあるご質問FAQs

真空装置とは真空状態を人工的に作り出し、真空の特性を利用して成膜、表面処理、分析などを行う装置です。
真空装置は、主に真空チャンバー、真空ポンプ、真空バルブ、真空計の4つのコンポーネントで構成されています。

真空装置には、真空蒸着装置、スパッタリング装置、イオンプレーティング装置、ALD装置、エッチング装置、アッシング装置など、用途に応じたさまざまな種類があります。また、最近では人工衛星や人工衛星に搭載する部品を評価するために、宇宙空間を模した真空容器（スペースチャンバー）の需要も増大しています。
昭和真空では、薄膜形成を行う真空蒸着装置やスパッタリング装置、ALD装置をはじめ、エッチング装置やトリミング装置、スペースチャンバーなどの真空技術応用装置を提供しています。
お客様の用途や要求仕様に応じて最適な装置をご提案いたします。

真空蒸着とスパッタリングは、どちらも真空中で基板表面に薄膜を形成する「PVD（Physical Vapor Deposition：物理蒸着）」技術ですが、膜の形成原理が異なります。
真空蒸着は金属などの成膜材料を加熱し蒸発した粒子を基板（対象物）に堆積させ薄膜を形成する技術です。
スパッタリングはAr等の不活性ガスを導入し、ターゲットと呼ばれる成膜素材（例：Ag）に高電圧を印加し、放電することで気体を電離させ、プラズマを生成します。
イオン化されたガス（例：Ar+）が負に印加したターゲットに衝突し、たたき出された粒子が基板（対象物）に堆積することで薄膜を形成する技術です。

最適な成膜方式は、製品の用途や求められる性能によって異なるため、成膜材料や膜特性、生産条件を総合的に評価して選定することが重要です。
用途に適した成膜方式は、成膜材料、要求される膜特性（膜厚・均一性・密着性・光学特性など）、生産能力、コストなどを総合的に考慮して選定します。
一般的に、真空蒸着は高い成膜速度を活かした量産用途に適しており、スパッタリングは膜質や密着性、組成制御に優れるため高機能薄膜の形成に適しています。
ただし、最適な方式は用途によって異なるため、昭和真空では検証実験を通じてお客様に最適なプロセスをご提案しています。

昭和真空では、お客様の生産ラインや設置スペース、生産能力、搬送方式などの条件に合わせて、最適な装置仕様やレイアウトをご提案しています。
また、自動搬送設備や各種周辺機器との連携にも対応し、生産効率の向上や工程の最適化を支援いたします。
当社の装置は、お客様の要求仕様に応じたカスタマイズにも対応しております。既存設備との接続方法や導入可否についても検討いたしますので、まずはお気軽にご相談ください。

装置の選定段階からご相談いただけます。
お客様の製品や用途、成膜材料、求められる膜特性、生産量などのご要望をお伺いし、最適な装置や成膜方式をご提案いたします。
昭和真空では、真空蒸着装置やスパッタリング装置、ALD装置など幅広い成膜技術に対応しており、お客様の要求仕様に応じた装置をご提案しています。
また、導入目的や課題が明確でない場合でも、課題整理からサポートいたします。
「どの装置が適しているかわからない」「まずは話を聞いてみたい」といった段階でもお気軽にご相談ください。

お客様の用途や要求仕様に合わせたカスタマイズが可能です。
昭和真空では、お客様の用途や要求仕様に応じて装置をカスタマイズしています。
成膜材料や基板サイズ、生産能力、膜特性などのご要望に合わせて、最適な装置仕様をご提案いたします。
また、自動搬送機構の追加や周辺設備との連携など、お客様の生産ラインに適したシステム構築にも対応しています。
ご要望や課題をお伺いしたうえで最適な装置構成をご提案いたしますので、お気軽にご相談ください。

実際のワークを使用したテストが可能です。
お客様からご提供いただいたワークや材料を使用し、成膜特性や処理結果の評価を行うことで、導入前に装置の適用性や期待される性能をご確認いただけます。
テスト内容や評価項目については、お客様のご要望に応じて検討・実施いたします。まずは対象ワークや目的についてお気軽にご相談ください。

見積もりを作成する際は、対象製品や用途、処理内容、要求仕様などの情報をご提供いただくことで、より適切なご提案が可能です。
主な確認事項は以下のとおりです。
 • 処理対象（ワーク）の種類・材質
 • ワークサイズおよび処理数量
 • ご希望の成膜材料や処理内容
 • 要求される膜特性（膜厚、均一性、密着性など）
 • 生産能力やタクトタイム
 • 設置場所やユーティリティ条件
 • ご希望の納期や導入時期
詳細な仕様が決まっていない場合でも問題ありません。
お客様の用途や課題をお伺いしながら、最適な装置仕様をご提案いたしますので、お気軽にご相談ください。

装置の価格は、装置の仕様や処理能力、成膜方式、自動化の範囲などによって異なります。
具体的には、ワークのサイズや処理数量、成膜材料、要求される膜特性、生産能力、真空ポンプや電源などの構成機器、自動搬送機構の有無などが価格に影響します。
昭和真空では、お客様の用途や要求仕様に応じた装置をご提案しているため、詳細な仕様をお伺いしたうえで最適な装置構成とお見積もりをご案内いたします。

発注から納入までの期間は、装置の仕様やカスタマイズ内容、部品・機器の調達状況などによって異なります。
昭和真空では、お客様の要求仕様に応じた装置をご提案しており、仕様確定後に個別の納期をご案内しています。
具体的な納入時期については、ご希望の導入時期や仕様をお伺いしたうえでご提案いたしますので、お気軽にご相談ください。

対応しております。
装置導入後も、定期点検、消耗部品の交換、修理対応などを通じて、お客様の装置の安定稼働をサポートいたします。
保守サービスの内容や保証期間については、装置仕様や契約条件によって異なりますので、詳細はお問い合わせください。

研究開発向けの小型装置から量産設備まで対応しており、用途や生産規模に応じた装置をご提案いたします。