ロードロック式通過型スパッタ装置 SPH-2410-Ⅱ（真空装置）｜株式会社昭和真空

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二種類の膜を両面に成膜可能なスパッタ装置

SPH-2500T-Ⅱの生産能力が約1.5倍

　概　要

本装置は、水晶振動子のベース電極成膜を目的として開発したロードロック式通過型スパッタリング装置です。仕込･取出室、スパッタ室の2室からなり、加熱から成膜、取出までを全自動で連動して行うことにより、「ベース電極成膜工程」のライン化が可能となり生産性の向上と省力化に貢献します。

　特　長

1.	外形：W1,100㎜ × D2,500㎜ × H1,205㎜ (シグナルタワーは含みません)
2.	両面同時成膜によりハイタクトで稼働することが可能な装置です。
3.	SPH-2500T-Ⅱと比較し、1ロット処理量を約1.5倍にしました。
4.	ラック＆ピニオン方式を採用し、安定した搬送を実現しました。

	ラック＆ピニオン方式採用により搬送制御性が向上しています。

　用途・応用例

各種電子部品への電極用金属膜の形成

　操作性の向上



	警報発生時のトラブルシューティングを画面上に表示します。各トレイにレシピ設定が可能で１０レイヤー/トレイまで成膜が可能です。

　装置構成

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。