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■ プラズマクリーナー SPE-2136A
プラズマクリーナーSPE-2136A/SPE-2125A デスカム・表面改質・アッシング処理
φ6インチウェハー2枚同時処理のハイタクトモデル
概 要
本装置はφ4〜φ6インチウェハーに対しデスカム・表面改質・アッシング処理が可能です。また、自動搬送機構を付属しておりウェハー割れ防止や、ウェハー移載にかかる作業時間コストの削減に貢献します。さらに、プロセス室はウェハー2枚同時処理により高いスループットを実現しています。 装置本体サイズがW1,400㎜×D2,000㎜とコンパクトな設計となっています。
特長・オプション等
  1. C to C
  2. 高スループット
  3. 分布:ウェハー内±10%以下(Si基板)
  4. 2枚同時処理、低温処理
  5. Arプラズマクリーニング(オプション)
  6. イオナイザーによる静電対策(オプション)
用途・応用例
  • 各種ウェハー電子部品のレジスト除去
  • 後工程メッキ前の表面改質
  • 有機汚染除去
  • 樹脂材料の表面改質
  • SAWデバイスなどの極薄圧電ウェハー対応
装置構成

(1)搬送ロボットを搭載した搬送エリアとアッシング室で構成
(2)真空槽材質は、脱脂処理を施したA5052製を採用

排気系ドライポンプ 1式
外形寸法装置本体:W1340mm×D1945mm×H1870mm
装置重量1,000Kg
電力200V 3φ 50/60Hz 14.3KVA

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。



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