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■ プラズマクリーナー SPE-2136A
プラズマクリーナーSPE-2136A/SPE-2125A
概要
  本プラズマクリーナー装置はφ4~φ6インチウェハに対し残渣除去・表面改質・アッシング処理が可能です。
自動搬送機構を付属しておりウェハ割れ防止やウェハ移載の人件費や作業時間の削減に貢献します。
さらに、プロセス室はウェハ2枚同時処理により高いスループットを実現しています。

特徴
1.C to C
2.高スループット
3.分布:ウェハ内±5%以下
4.2枚同時処理、低温(室温)処理
5.Arプラズマクリーニング(オプション)

用途・応用例
1. 各種ウェハ電子部品のレジスト除去
2. 後工程メッキ前の表面改質
3. 有機汚染除去
4. 樹脂材料の表面改質
5. SAWデバイスなどの極薄圧電ウェハ対応
LEDデバイス向け電極形成用スパッタリング装置 SPC-4515 LD
概略仕様
1. 処理方式:自動搬送付きバッチ装置
2. 排気ポンプ:ドライポンプ
3. 装置寸法 W1400×D3000×H1900mm
4. 装置重量:1000kg
5. 電源容量:AC2000V (3φ) / 15kVA (44A)
6. 真空槽サイズ(処理室):φ440×H195mm

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。



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