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電子関連装置(スパッタリング&イオンプレート)
■ プラズマクリーナー SPE-2136A
デスカム・表面改質・アッシング処理
φ6インチウェハー2枚同時処理のハイタクトモデル
概 要
本装置はφ4〜φ6インチウェハーに対しデスカム・表面改質・アッシング処理が可能です。また、自動搬送機構を付属しておりウェハー割れ防止や、ウェハー移載にかかる作業時間コストの削減に貢献します。さらに、プロセス室はウェハー2枚同時処理により高いスループットを実現しています。 装置本体サイズがW1,400㎜×D2,000㎜とコンパクトな設計となっています。
特長・オプション等
C to C
高スループット
分布:ウェハー内±10%以下(Si基板)
2枚同時処理、低温処理
Arプラズマクリーニング(オプション)
イオナイザーによる静電対策(オプション)
用途・応用例
各種ウェハー電子部品のレジスト除去
後工程メッキ前の表面改質
有機汚染除去
樹脂材料の表面改質
SAWデバイスなどの極薄圧電ウェハー対応
装置構成
(1)搬送ロボットを搭載した搬送エリアとアッシング室で構成
(2)真空槽材質は、脱脂処理を施したA5052製を採用
排気系
ドライポンプ 1式
外形寸法
装置本体:W1340mm×D1945mm×H1870mm
装置重量
1,000Kg
電力
200V 3φ 50/60Hz 14.3KVA
※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。
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