イオンプレーティング装置　SIP-1600F（真空装置）｜株式会社昭和真空

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ー　装飾膜などに適した大型イオンプレーティング装置　ー

概要

SIP-1600Fは自公転治具台車に基板を取付け、台車ごと大型真空槽に入れて一度に大量処理できるハイコストパフォーマンス型のイオンプレーティング装置です。

自公転機構とイオンプレーティング機構の効果で付き回りよく成膜する事ができるため複雑な形状の基板にも対応しています。

　特長・オプション等

1.	イオンプレーティング機構により付き回り良く成膜できます。
2.	基板の大きさにより6軸もしくは8軸の自公転治具を搭載可能です。 6軸（Φ440㎜×H1,650㎜/軸：ワーク搭載エリア） 8軸（Φ360㎜×H1,650㎜/軸：ワーク搭載エリア）
3.	自公転治具台車を2式付属しており高い生産性を有します。
4.	2対切替式の抵抗加熱式蒸発源を搭載し、同一バッチで2種類の金属材料を成膜する事ができます。
5.	冷凍機を搭載しておりH₂Oに対する排気スピードが向上しております。
6.	生産量に応じたチャンバー

　用途・応用例

各種装飾膜

不連続膜

電磁波防止膜

　概略仕様

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。

IEJ07301-0806