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金属薄膜用蒸着装置のスタンダードモデル
φ4インチ及びφ6インチウェハーに対して電極膜及び酸化膜の成膜が可能です。リフトオフ工程にも対応可能なよう蒸着材料の入射角が垂直になるよう構成されています。また基板ドーム内の入射角をより安定させるため高精度ドームを採用しています。