製品情報トップ
水晶デバイス装置
電子関連装置
光学装置
コンポーネント
保守部品
当社中古機器
昭和真空の技術
製品情報のお問い合わせ
当社新技術のご紹介
技術の解説
お問い合わせはこちら
トップ
>
製品情報トップ
>
電子関連装置
> SDC-1300F
電子関連装置(スパッタリング&イオンプレート)
■ バッチ式真空蒸着装置 SDC-1300F
ー 装飾膜用スタンダードモデル ー
概要
真空蒸着による各種金属膜の成膜が可能な装置です。
基板台車を2台付属し、成膜中の基板交換、蒸着材料交換が可能なため優れた量産性を誇ります。
2対の蒸発源を採用し、異なる2種類の金属蒸着が可能です。
特長・オプション等
1.
真空槽:φ1,300㎜ × H1,600㎜
2.
内部治具系
①自公転治具数:6軸 or 8軸
②冶具スペース:6軸φ380㎜ × H1,200㎜、8軸φ300㎜ × H1,200㎜
3.
蒸発源系
①抵抗加熱機構:2点切替式
用途・応用例
各種金属装飾膜
ミラー、リフレクター
概略仕様
処理方式
バッチ式
排気ポンプ
RP+MBP+DP+ポリコールド
設置寸法
W3,500㎜ × D5,200㎜ × H2,700㎜
装置重量
7,300 kg
電源容量
AC200V(3φ/1φ) / 90kVA(300A)
真空槽サイズ
φ1,300㎜ × H1,600㎜
※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。
IEJ07301-0806
|
プライバシーポリシー
|
情報セキュリティポリシー
|
サイトマップ
|