ワイヤレス温度モニター（真空装置）｜株式会社昭和真空

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回転している基板ドーム上の基板温度をリアルタイムに測定可能
　

　概　要

本システムは、ドームにセットした小型モジュールで測定した基板温度をワイヤレスで送信します。

温度モニターのみならず、温度データを取り込むことでヒーターを連動し、温調制御することが可能となっております。

　特長・オプション等

　概略仕様

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。