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コンポーネント
■ 高使用効率カソード
ー 40%以上の使用効率を実現! ー
現行磁気回路 新型磁気回路
概 要
従来の5×7インチカソードを改良し、40%以上の使用効率を持つカソードを開発しました。
ターゲットライフ延長によりメンテナンスサイクルが長くなり、貴金属ターゲットの回収ロス削減にも効果があります。
特長・オプション等
1.
最大44%の使用効率を実現しました。
2.
既存の5×7インチカソードの改造も可能です。
3.
5×10インチカソード用もラインナップしています。
※使用効率については保証外になります。
用途・応用例
貴金属ターゲット及び厚膜の成膜に最適
※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。
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