ロードロック方式スパッタリング装置 SPH-2500-Ⅱ（真空装置）｜株式会社昭和真空

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■ ロードロック式スパッタ装置　SPH-2500T-Ⅱ

二種類の膜を両面に成膜可能なスパッタ装置

本装置は水晶振動子のベース電極成膜を目的として開発したロードロック式スパッタ装置です。仕込室、成膜室の2室からなり、加熱から成膜、取出までを全自動で連動して行うことにより、「ベース電極成膜工程」のライン化が可能となり生産性の向上と省力化に貢献します。両面同時成膜によりハイタクトで稼働できます。

排気ポンプ	油回転ポンプ＋ターボ分子ポンプ ※オプション：クライオポンプ対応可
設置寸法	W1,100㎜×D3,640㎜×H1,680㎜
装置重量	1,900kg
電源容量	AC200V～220V（3φ） / 27kVA（78A）

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。