水晶デバイス装置

■ 真空加熱封止装置　SLS-401T

効率的なサイクルタイム    Cl測定によるリークチェック機能搭載

特 徴 1. SMD水晶振動子を対象とした Au/Sn用 真空加熱封止装置です。 2. 取出室にてCl測定によるリークチェックが可能（オプション） 3. タクトタイム 0.4 sec/pc 以下 ※ 768ケ取トレー（24列(P4.0mm) × 32列(P4.5mm) の場合） 4. 周波数調整装置への連結も可能（オプション） 5. 高温封止（450℃）対応も可能

仕 様 対応可能ワーク AT 2016, 1612, 1210 / TF 2012, 1610 装置構成 3室（仕込室, 処理室, 取出室）インライン式 排気系 処理室：10インチ TMP 仕込室, 取出室：RP + NBP 加熱系 予備加熱2段, 封止加熱1段, MAX 400℃, 冷却1段 リークチェック Cl測定法 タクト 0.4 sec/pc 以下 温度分布 300℃ ±2.5℃

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。